装置内部でエラーが発生したために発生しています。
下記をご確認ください。

・コードが 20000000 または 40000000 の場合
⇒接続している負荷の設定が正しいか　(マニュアルの「負荷の接続」を参照)

その他の場合はお問い合わせください。